Diferença entre PVD e CVD

PVD vs CVD

PVD (Deposição Física de Vapor) e CVD (Deposição Química de Vapor) são duas técnicas usadas para criar uma camada muito fina de material em um substrato; comumente referido como filmes finos. Eles são amplamente utilizados na produção de semicondutores, onde camadas muito finas de materiais do tipo n e do tipo p criam as junções necessárias. A principal diferença entre PVD e CVD são os processos que eles empregam. Como você já deve ter deduzido dos nomes, o PVD usa apenas forças físicas para depositar a camada enquanto o CVD usa processos químicos.

No PVD, um material de fonte pura é gaseificado por evaporação, aplicação de eletricidade de alta potência, ablação a laser e algumas outras técnicas. O material gaseificado irá então condensar no material do substrato para criar a camada desejada. Não há reações químicas que ocorrem em todo o processo.

Na CVD, o material de origem não é realmente puro, pois é misturado com um precursor volátil que atua como transportador. A mistura é injetada na câmara que contém o substrato e é então depositada nela. Quando a mistura já está aderida ao substrato, o precursor eventualmente se decompõe e deixa a camada desejada do material de origem no substrato. O subproduto é então removido da câmara via fluxo de gás. O processo de decomposição pode ser assistido ou acelerado através do uso de calor, plasma ou outros processos.

Seja por CVD ou PVD, o resultado final é basicamente o mesmo, pois ambos criam uma camada muito fina de material, dependendo da espessura desejada. CVD e PVD são técnicas muito amplas, com várias técnicas mais específicas. Os processos reais podem ser diferentes, mas o objetivo é o mesmo. Algumas técnicas podem ser melhores em certas aplicações do que em outras devido ao custo, facilidade e uma variedade de outras razões; portanto, eles são preferidos nessa área.

Resumo:

1. O PVD usa processos físicos apenas enquanto o CVD usa principalmente processos químicos
2. O PVD normalmente usa um material de origem pura, enquanto o CVD usa um material de origem mista